Allotaxie
Bei der Allotaxie handelt es sich um ein spezielles Molekularstrahl-Epitaxie (MBE)-Verfahren, mit dessen Hilfe sich zum Beispiel vergrabene Kobaltdisilizid-Schichten in monokristallinem Silizium herstellen lassen. Dieses Verfahren wurde unter anderem 1992/1993 in einer Diplomarbeit (Apr. 1993) von Ingo Michel am Forschungszentrum Jülich untersucht und verbessert. Weitere Informationen findet man unter Appl.Phys.Lett.61(3), 20 July 1992 von Siegfried Mantl und Helge Bay.