Ellipsometrie
Wird Licht mit einem bestimmten Polarisationszustand (z.B. Laser), auf eine Materialprobe geworfen, lässt sich aus der Gestalt der dabei entstehenden Polarisationsellipse auf die optischen Eigenschaften der Probe schließen. Zuvor muss jedoch ein mathematisches Modell erstellt werden, welches die Abhängigkeit der Reflexionskoeffizienten von den Parametern der Probe beschreibt.
Siehe auch
Weblinks
- http://www1.physik.uni-greifswald.de/forschung/Festkorper/ellips.html Uni Greifswald
- http://www.physnet.uni-hamburg.de/iap/group_ds/information/F_Praktikum/Ellipsometrie/Spektralellipsometrie.html Uni Hamburg
- http://www.litfin.de/physik/Ellipsometrie.html Beschreibung von Karsten Litfin
- http://ia.physik.rwth-aachen.de/methods/ellipsometry/elli.htm?menu_id=78&language=german TH Aachen
- http://www.uni-leipzig.de/ellipsometrie Uni Leipzig, Workgroup Ellipsometry