Mikromechanik
Mikromechanik ist der Bereich der Mikrotechnik, der sich mit mechanischen Bauelementen im Mikrometer-Bereich befasst. Zur Herstellung werden u.a. Methoden eingesetzt, die auch in der Mikrochip-Fertigung zum Einsatz kommen (z.B. galvanische Verfahren, Lasertechnik).
Siehe auch: Feinmechanik
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