Schwefelhexafluorid
Schwefelhexafluorid (SF6) ist ein farbloses, geruchloses und sehr reaktionsträges Gas. Das Molekulargewicht beträgt 146,054 g/mol. Der Schmelzpunkt liegt bei -50,8 °C. Der Sublimationspunkt bei -63,8 °C. Wegen seiner Struktur (koordinative Sättigung und sterische Hinderung) ist es sehr reaktionsträge und verhält sich chemisch wie ein Edelgas. Deswegen wird es als Isolationsgas in der Hochspannungstechnik eingesetzt, z.B. in Hochspannungsschaltern. Geringe dielektrische Verluste machen es als Schutzgas in Koaxialkabeln geeignet. Als thermisches Isoliergas wurde SF6 in Isolierglasscheiben verwendet. Weiterhin wird SF6 in Halbleiter-, Displaytechnik und Mikrotechnik eingesetzt. Im Halbleiterbereich dient es als Ätzgas und wird als Isoliergas beim Routinetesten mikroelektronischer Schaltkreise im Rahmen der Qualitätssicherung verwendet. Außerdem wird es zum Reinigungsätzen eingesetzt. Dies ist auch das primäre Einsatzgebiet von SF6 im Display-Bereich. In der Mikrotechnik ist SF6 ein Schlüsselmedium im sehr verbreiteten RIE Prozess (RIE-Prozess = Reactive Ion Etching). Weiterhin verwendet man SF6 in großem Umfang als Schutzgas bei der technischen Erzeugung von Magnesium. Das spezifisch schwere SF6 verhindert hier den Kontakt der heißen Metallschmelze mit der Luft. Prozessbedingt werden bei dieser Anwendung sehr große SF6-Mengen in die Atmosphäre emittiert.
SF6 ist das stärkste, bekannte Treibhausgas. Sein Treibhauspotenzial ist etwa 23.900 mal größer als das von CO2.
Zu einem interessanten Effekt kommt es, wenn SF6 eingeatmet wird. Im Gegensatz zu Helium erhält man wegen einer wesentlich höheren spezifischen Masse von SF6 als Luft eine tiefe Stimmlage. Aus diesem Grund wird SF6 durch die normale Atmung nur sehr langsam aus der Lunge entfernt. Ein beschleunigtes Abatmen wird erreicht, indem man sich auf den Kopf stellt.
Isostere von SF6 sind z.B. die Anionen PF6-, SiF62-.