Weißlichtinterferometer
Ein Weißlichtinterferometer ist ein Interferometer, welches mit Licht geringer Kohärenzlänge arbeitet. Daher entstehen Interferenzen nur bei auf wenige Mikrometer gleiche Weglängen im Referenz- und Objektstrahl.
Ein Weißlichtinterferometer kann somit als ein Messgerät zum berührungslosen Vermessen von Werkstücken mit hoher räumlicher Auflösung in der Tiefe verwendet werden. Es werden Genauigkeiten im Bereich von wenigen Nanometern erreicht.
Weißlichtinterferometer gibt es als Interferenzmikroskope und als „großflächige“ Messgeräte mit Messfeldern bis zu 50 mm.
Weißlichtinterferometer werden ebenfalls in der Fourier-Spektroskopie eingesetzt.
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